第二百四十四章 超紫外激光波長1.5nm功率2000w(2)

科技最狂潮 第二百四十四章 超紫外激光波長1.5nm功率2000w(2)

時間轉眼就到了第二天。

測試結果非常喜人，昆侖集團的光學系統，包括最重要的物鏡在內，一次就點亮了，并且成功流片。

但與此同時，這次實驗也發現了不小的問題，中科光電院負責的光源，波長雖然達標，但卻存在功率太低的問題，導致硅片曝光不夠，即便用系統饋贈的光學系統和超級物鏡，也沒辦法挽救。

“情況怎么樣了？”

高原跑去睡了一覺，回到實驗室打了個哈欠。

楚落落小臉煞白，這可憐的孩子，激動加擔心，令她昨晚都沒睡好，而高原就不同了，他不僅舒舒服服睡一覺，還順便進入系統空間學習知識。

“還在調整光源，他們太拖后腿了，我看實在不行，就用咱們自己的光源吧！”楚落落心思單純，也沒有多想，當即說道。

高原蹙眉，看著實驗室里，一群穿著白色防塵服的工程師，正在對光源發生器進行調試，整個測試也因此陷入停滯，大家都在等待。

看來他們的激光功率的確有問題，而且不像一時半刻能夠解決的樣子。

想到這里，高原走進了項目辦公室。

由于是聯合項目，各家老總都來了，所以辦公室里人比較多，一個個都顯得很疲憊。

“杜所長。”高原對長春光機所的杜維明說道：“這次我們帶來了超紫外光源，實在不行，就先測試超紫外激光吧，光電所的深紫外放在后面測。”

高原帶了光源，這件事他早就通報過的，在場的人都很清楚。

只是大家心里都有點疑惑，超紫外光源是個什么東西？以前沒聽說過啊！

光電所做的光源叫紫外，或者說深紫外激光，波長193nm，是目前全球應用最廣泛的存在，從微米級芯片，一直到14nm芯片，都可以使用這種光源。

半導體代工巨頭臺積電，甚至用深紫外激光拿下了7nm工藝，令全球為之震撼，徹底打響了自己半導體領域第一天王山的名號。

所以中科光電所測試深紫外光源，高原一點意見都沒有，這種光源雖然做不出頂級工藝，但勝在便宜啊，性價比高，并不是說高原拿出超紫外光源后，深紫外光源就不需要了。

合格的光刻機臺，應該同時兼容好幾種光源，好幾種工藝，所以高原讓中科光電所先測試深紫外光，打算等他們弄好了，再測試自己的超紫外。

誰知道光電所一整天下來，毫無進展，這讓高原有點按捺不住了，提出讓光電所的工程師休息一下，人有時候就是這樣，越忙越忙，弄不好大家睡一覺，洗個熱水澡，茅塞頓開，困難就解決了。

杜維明蹙眉道：“把光源發生器拆下來，再換上你們的，恐怕要大半天時間呢，要不再等等吧，光源又不是電燈泡，換來換去的很麻煩，而且每次拆裝，精度還要再次校準。”

杜維明說的也是實話，光刻機又不是縫紉機，不能整天拆來拆去的，稍微一動，精度就要重新校準，很麻煩的。

高原來的時候，光電所的深紫外光源，就已經裝在測試機臺上了，否則高原一定會要求先測試自己的光源。

然而，這番對話讓光電院的龔欣迎院長，臉色一陣紅一陣白，有點坐不住了。

都是做科研的，龔院長雖然一向對昆侖集團敬佩有加，但這也太傷人了吧！

好像純粹是因為太麻煩，才勉強讓自己的光源留在機臺上，要是拆裝容易的話，早就把自己的光源拆下來扔了！

你們行？

那你們就上吧！

超紫外激光？

開什么玩笑呢！

難道還能比荷蘭asml的極紫外更強！？

要知道，asml已經把波長干到了13.5nm，而傳統深紫外光是193nm，兩種光源之間，有著本質的差別！

我就不信了！

你們昆侖集團的這個什么超紫外光，也能做到13.5nm？

恐怕就是個名字而已吧！

昆侖集團向來熱衷宣傳，給自己的產品和技術，起一些匪夷所思的古怪名字。

明明是固態電池，卻叫昆侖晶石。

明明是復合碳纖維，卻叫昆侖暗星。

最離譜就是機械外骨骼，居然叫原子螞蟻？

你們以為自己是誰？

漫威里的超級英雄蟻人嗎？

龔院長陰沉著臉，一瞬間諸多想法涌入大腦。

倒不是說針對高原，做科研的誰還沒有點怪脾氣？自己這邊實驗還沒做完呢，高原就急著把自己替下來，實在很讓他沒有面子。

“杜所長，既然高老板有更先進的光源，那就把我們的撤下來，換他們上吧。”龔院長皺眉，沉聲說道。

“不急不急，兩種光源都要測，還是先搞完你們的吧。”杜維明看龔院長臉色不好，于是急忙打圓場道。

“沒關系，咱們搞科研的，向來是誰有本事誰上，我這就讓人動手，把光源拆下去。”

龔院長不由分說，從辦公室離開，吩咐手下拆激光發生器。

這些光電院的工程師們一陣驚愕，還沒測試完呢，怎么就拆了呢？

聽說是給昆侖集團讓路，工程師們頓時沒了脾氣，誰讓人家本事大，光學系統做的漂亮呢，那套物鏡的精度，據說在一納米之下，簡直堪稱完美。

盡管如此，光電院的工程師們心里還是有點不服氣，畢竟光學做得好，不代表激光也能搞定。

當時間來到晚上，深紫外激光發射器已經被拆掉了，換成了高原帶來的超紫外激光發射器，工程師們好不辛苦，用了整整一個白天，才完成光源的更換和校準。

辛苦一點倒是沒什么，就盼望著能有好結果吧。

超紫外？

名字倒是夠拉風，就是不知道波長多少，功率又是多少？

荷蘭asml已經把這兩個最關鍵的參數，做到了世所罕見的程度，才13.5nm的波長，功率更是達到了250w，用來曝光硅晶圓，效率簡直不要太夸張。

要是昆侖集團能用荷蘭asml一半的水準，就謝天謝地嘍。

隨著一道激光爆射而出，機臺再次點亮，過程非常順利。

片刻后，身穿白色防塵服的工程師，顫顫巍巍的雙手捧起十二寸硅晶圓，放在燈光下端詳。

無數玄奧繁雜的線條，宛如世界上最美妙的藝術品，令人心馳神往。

“又是一次點亮！？”

“這運氣也太好了吧！”

“波長多少？功率又是多少？”

“不清楚，具體參數在控制室里，不過我看晶圓曝光的程度，似乎遠遠好于之前。”

圍觀眾人議論紛紛，與此同時，從控制室里傳來一陣喧囂，仿佛有野獸鉆進了控制室，搞的里面一片雞飛狗跳。

“什么情況！？”

“他們似乎很高興的樣子？”

“或許參數比較不錯，所以他們才比較激動吧。”

外面的眾人不明所以，紛紛用好奇的眼神看向控制室。

片刻后，帶著眼鏡的工程師推門走出，他將一張寫著參數的表格高高舉起，宛如舉起勝利的獎杯。

“波長1.5nm！”

“功率整整2000w！”眼鏡工程師雙目通紅，聲嘶力竭吼道：“昆侖集團！牛逼！！！”

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